激光微加工系统
微加工指的是一种减法过程(去除材料)，其特征在微米范围内(从几微米到几百微米)。
微加工可以加工非常精细的特点，具有最小的热影响区(HAZ)，低水平的粗糙度，以及其他优于传统宏加工或传统物理工具加工的优点，甚至可以达到用传统方法无法创建的大多数特征。
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Ice-Micromake激光微加工系统
--高精度高分辨率
上海滨赛光电科技有限公司是提供的Ice-Micromake系列一款紧凑的激光微加工单元，主要应用于高精度和高分辨率的微加工应用。该系统将激光器、光学系统、高分辨相机等所有需要的微加工设备集成在一起，同时带有强大智能分析功能的软件。这款微加工系统使用ns/ps级脉冲光源，使得样品的空间分辨率可以达到2~5um级别，该系统适用于多种不同性质材料的精密微加工。
这种紧凑系统的典型应用包括精密切割、选择性移除和3D微加工、微电子电路/显示器制造和校正、光学基片微加工、控制烧蚀、激光微钻孔等领域。
（微加工示例）
产品应用：
3D微加工；
微电子电路/显示器制造和校正；
激光微钻孔；
激光控制烧蚀；
芯片/显示器微加工；
产品参数：
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型号 |
Ice-Micromake 532 |
Ice-Micromake plus 532 |
Ice-Micromake 266 |
Ice-Micromake plus 266 |
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波长 |
532nm |
532nm |
266nm |
266nm |
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放大倍数 |
10X |
10X |
10X |
10X |
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工作距离 |
39mm |
39mm |
20mm |
20mm |
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分辨率 |
4.5um |
5um |
2.2um |
2.5um |
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加工区域 |
0.8mm*0.8mm |
0.8mm*0.8mm |
0.8mm*0.8mm |
0.8mm*0.8mm |
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频率 |
1KHZ |
10-100khz |
0.8khz |
10-100khz |
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最大峰值功率 |
10KW |
35KW |
0.8KW |
5KW |
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加工速度 |
Up to 5mm/s |
Up to 100mm/s |
Up to1mm/s |
Up to 40mm/s |
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散热 |
Air-cooled |
Air-cooled |
Air-cooled |
Air-cooled |
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尺寸大小 |
35*16*9cm^3 |
35*24*11cm^3 |
37*16*9 cm^3 |
37*24*11 cm^3 |
