多波长动态干涉仪-Kaleo MultiWAVE
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多波长动态干涉仪-Kaleo MultiWAVE
上海滨赛光电科技有限公司推出的法国Phasics的Kaleo MultiWAVE动态干涉仪有别于基于传统Fizeau 干涉仪的方法，采用位相检测方法直接构建的动态干涉仪既不需要移动待测元件多次曝光，也不需要采用偏振等复杂的光学手段，针对待测元件进行一次测量即可获得其反射面型或透过波差，能够兼顾测量透射波前误差和反射波前误差（TWE / RWE），该系统同时可提供媲美Fizeau干涉仪测量精度，及动态干涉仪的抗震性能。
Kaleo-Multiwave 多色动态干涉仪可用于光学元件面型检测、透过波差测试、大型望远镜系统测试及实时调整等。大动态范围像差测试能力使其可测平面/ 球面波而无需中继镜，无色差检测能力允许使用多个波长甚至白光进行测试。Kaleo-Multiwave 集成了可切换波长的准直光源，可以对大口径镜片进行直接或对比测量。
测试镜片结果对比：Fizeau 干涉仪（左）VS Kaleo-MTF（右）
产品应用：
光学系统校准及计量；
产品性能：
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光路结构 |
双通路测试 |
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测量能力 |
反射波前面型测量，透射元件波差测量 |
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集成波长数量 |
1~2（标准），最多可达8个波长 |
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波长选择 |
193nm ~ 14u m(UV: 266, 355, 405 nm VIS / NIR: 550, 625, 780, 940, 1050 nm SWIR / MWIR / LWIR: 1.55, 2.0, 3.39, 10.6 µm) |
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有效口径 |
5.1" (130 mm) |
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光学中心高度 |
108mm |
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对准功能 |
实时相位 / 泽尼克多项式显示 |
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视场角对准范围 |
±2° |
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可调对焦范围 |
±2.5m |
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使用环境 |
无需隔振 |
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RMS 可重复性 |
<0.7 nm (< λ / 900) |
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测量精度 |
80nm p-v |
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动态范围（离焦值） |
500 fringes (SFE = 150 μm) |
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可测反射率范围 |
4% ~ 100% |
